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| 프로젝트명 |
Research on analysis of front-end unit devices and defects using next generation wafer(Completed Project) |
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| 발주처명 |
LG Siltron |
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| 기간 |
2013.06.01 ~ 2014.05.31 |
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| 첨부파일 |
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“Research on analysis of front-end unit devices and defects using
next generation wafer”
차세대 웨이퍼를 이용한 Front-End단위 소자 특성 및 결함 분석에 대한 연구
PI: H. Seo, RA: J. Kim/S. Lee
(LG Siltron/산학과제),
2013. 06. 01 - 2014. 05. 31.
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