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프로젝트명 Process and Analysis technique Development for enhancing TiN Electrode-based Capacitor Property
발주처명 Samsung Electronics
기간 2014.03.01 ~ 2016.02.29
첨부파일

“Process and Analysis technique Development for enhancing TiN Electrode-based Capacitor Property”
(TiN 전극 기반 Capacitor 특성 향상을 위한 공정 및 분석 기술 개발)

PI: H. Seo, RA: S. Lee
(삼성전자/산학과제),
2014. 03. 01 - 2016. 2. 29.


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