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ALD로 증착한 Al2O3보호막이 적용된 저항형 볼로미터 적외선 센서용 Vox 박막 제조
학술지명 : 한국재료학회 춘추계 통합 학술대회
게재년월 : 2020.11.18
"ALD로 증착한 Al2O3보호막이 적용된 저항형 볼로미터 적외선 센서용 Vox 박막 제조"


한승익, 배지훈, 신희철, 강현우, 서형탁*


2020 한국재료학회 춘추계 통합 학술대회,  제주 휘닉스 섭지코지, 제주도, 11월 18일 [Oral]

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