우리 학교 대학원 에너지시스템학과 석사과정 전예린 학생이 ‘반도체 국제학술대회(Korean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology 2022, KISM 2022)’에서 우수 논문상을 수상했다. 학술대회는 한국반도체디스플레이기술학회 주최로 지난 13일부터 16일까지 부산 해운대 파라다이스 호텔에서 개최됐다. 

‘반도체 국제학술대회에서는 ‘퍼스트무버가 되기 위한 제조전략(Manufacturing Strategies for First Mover)’을 주제로 진행, 전 세계 15개국 600여 명의 산·학·연 전문가들이 참석했다.

전예린 학생은 라는 제목의 논문을 발표했다. 논문 지도는 에너지시스템학과 서형탁 교수가 맡았다. 

전예린 학생의 논문은 최근 차세대 메모리 소재로 주목받고 있는 헤프늄 산화물에 티타늄을 도핑하여 강유전성 특성과 소자 신뢰성이 대폭 향상된 비휘발성 강유전 스위칭 채널을 스퍼터링과 원자층증착공정으로 보고하여 주목을 받았다.

수상자 전예린 학생은 "KISM 2022에서 우수 논문상을 수상하게 되어 영광"이라며 "지도교수님의 헌신적 지도와 연구팀의 노력이 함께 했기에 얻은 결과라고 생각한다"라고 말했다.

이번 대회에서는 삼성전자, SK하이닉스, IMEC, TEL, HITACHI 등 주요 반도체 기업들이 참여했으며, 국내·외 산업체 논문 55여 편을 포함한 총 360여 편의 논문이 발표됐다. 이번 학회는 ▲제조공정 및 소재 ▲부품 ▲장비산업 등 우리나라 반도체 산업이 나아가야 할 기술적 방향을 제시하고 산·학·연, 수도권-지역 간 협업 생태계 구축을 통해 경쟁력 강화에 기여하기 위해 마련됐다.