우리 학교 대학원 에너지시스템학과 쿠마 모히트 교수와 서형탁 교수 연구팀이 산업통상자원부에서 진행한 소재부품기술개발사업 이어달리기 기술개발사업에 선정됐다.

소재부품기술개발사업 이어달리기 기술개발사업은 과학기술정보통신부에서 진행한 기초원천 연구 종료과제중 상용화 가능성이 높은 과제에 대해 추가로 상용화 R&D를 지원하는 신규 공모 사업이다. 소재부품기술개발사업 이어달리기는 제조업 글로벌 경쟁력 제고를 위하여 소재의 해외의존도 완화, 기술고도화 및 미래시장 선점을 위한 사업이다. 

이번에 선정된 우리 학교 연구팀의 연구는 과학기술정보통신부 나노소재원천기술 개발사업을 통해 진행한 ‘그래핀과 산화물 기반의 2차원 반도체 소재 및 소자 개발’ 연구과제(2014-19년 수행)의 후속 상용화 연구이다. 연구팀은 ‘대면적 2차원 소재를 이용한 반도체 공정 진단용 웨이퍼 모사 진동센서 및 온도센서 개발’ 이라는 주제로 ▲센서전문업체 엠엔텍 ▲한양대 ▲나노종합기술원과 함께 사업에 공모하여 선정됐다. 연구기간은 38개월이며 총 43억원의 연구비를 지원받는다.

이번 사업에서 우리 학교 연구팀은 2차원 강유전성 산화물 소재를 이용하여 반도체 공정 진단용 웨이퍼에 사용되는 광대역 온도센서와 진동센서를 나노반도체 공정을 이용하여 제조하고 웨이퍼형 센서로 상용화하기 위한 연구 개발을 진행할 계획이다. 연구팀의 과제에서는 반도체 제조, 스마트 공장 등 대규모 제조 산업의 에너지 낭비 및 제품 불량을 줄이고, 현장의 안전한 작업 환경을 조성하기 위해 실제 공정 이력을 거치며 실시간으로 공정 환경 데이터를 전송하는 스마트 웨이퍼 센서가 적용된다. 

연구팀의 개발이 성공하면 해외 일부 기업의 독점적 시장구조인 웨이퍼형 센서 시장을 국산화함으로써 반도체 주요 소재 부품의 수출 및 수입대체 효과를 기대할 수 있다. 특히, 우리학교 연구팀이 제안한 2차원 형 강유전성 산화물은 이미 뛰어난 고감도 진동감지 및 온도 감지력을 보였기에 센서의 원천기술을 보유할 수 있게 된다.   

이번 과제의 아주대 연구팀 책임자인 쿠마 모히트(Mohit Kumar)  교수는 21년 연구중점 전임교원으로 임명됐다. 쿠마 모히트 교수는 서형탁 교수와 광전자재료연구실을 공동운영하며 최상위 논문을 연이어 발표하고 있으며 이번 과제 제안에서 핵심 소자 아이디어를 제시하여 상용화 과제 책임자를 수행하는 성과를 얻었다. 

관련자료 링크
: https://www.ajou.ac.kr/kr/ajou/news.do?mode=view&articleNo=206902&article.offset=0&articleLimit=12