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특허명 금속산화물 박막의 전기 전도도 향상 방법 및 이에 의해 전도도가 조절된 금속산화물 박막을 포함하는 박막 트랜지스터
발명자 서형탁, 김진서, 이상연
특허구분 등록(국내)
특허(출원)번호 제 10-1788929 호
특허일 2017.10.16
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