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원자층 증착법(ALD)을 이용한 Vanadium Oxide 박막 제작 및 전기적 특성 분석
학술지명 : 한국재료학회 추계학술대회
게재년월 : 2021.11.25
"원자층 증착법(ALD)을 이용한 Vanadium Oxide 박막 제작 및 전기적 특성 분석"


이왕곤, 최효빈, 신희철, 안영환, 김지웅, 서형탁*


2021 한국재료학회 추계 학술대회, 오프라인 개최, 11월 25일 [Oral]

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